平面度0.5的意思很简单,也就是在制作的过程中,要保证实际平面的起起伏伏和理想的平面之间的差距不要超过0.5,要确保误差是在0.5之下的,其实也就是在工艺节距之间平面度误差要保证在0.5之内。
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标,用来控制被测实际平面的形状误差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较,两者之间的线值距离即为平面度误差值。
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