低温泵工作原理

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低温泵的工作原理主要基于低温技术，通过将低温工质进行压缩、冷却和再蒸发等操作，实现低温能量的传递。

低温泵分为冷凝泵和吸附泵两种类型。冷凝泵利用极低温度（低于25K）的冷板使气体凝结，降低凝结物的蒸汽压力以达到抽气效果。吸附泵则通过在冷板上涂覆吸附剂，使气体分子以单分子层厚度被吸附，其平衡压力远低于相同温度下的蒸气压力。例如，在20K时，氢的蒸气压力等于大气压力，而在20K的活性炭上，氢的吸附平衡压力可低至10^-8帕以下。此外，低温泵还利用了闭路循环气氦制冷技术，进一步提高泵的效率和性能。

低温泵的主要组成部分包括泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等，利用小型制冷机提供冷量，将二级冷板冷却到12K以下，形成抽气能力。泵口安装的障板用于保护冷板不受热冲击。这些部件共同作用，实现高效的气体凝结和吸附，从而获得和保持真空环境。

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